外延片红外测温仪 Sekidenko OR4000T 高温计-上海明策电子科技有限公司

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美国Sekidenko OR4000T 外延片测温仪

Sekidenko OR4000T 高温计
Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格的要求。

其采用模块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。
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商品描述

Sekidenko OR4000T 高温计

Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格的要求。

其采用模块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。

优点:

提高可重复性并显著减小误差提高生产率、产量和生产能力
·提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性

特点:

·主动辐射率检测和补偿
温度和辐射率读取速率快
·模块化的结构具有高灵活性
·全套I/O和外部触发器/同步组件

技术参数：

概述:	多通道，高性能，测量速度高达2kHz
通道配置:	1-4通道，带可选/固定发射系数，每个通道可单独配置
测温范围:	50-3500°C
实时发射系数范围:	无
测量波长:	UV to 2300 nm
读取速率:	高达2kHz
测量精度:	±1.5℃
重复精度:	±0.1℃℃，正常情况下
分辨率:	0.001℃C
显示:	带键盘输入内置，4x21LCD屏，
数据I/O:	RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模拟输出:	0-10V或4-21mA
控制接口:	外部触发输入，同步输出，高低报警
电源:	交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:	5-40℃，非冷凝
物理尺寸:	8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:	2.0kg
安装:	底部M3X0.75螺孔
采样响应时间:	2kHz采样速率时<2ms