Sekidenko OR4000T 高温计
Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格的要求。其采用模块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。
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优点:
提高可重复性并显著减小误差提高生产率、产量和生产能力
·提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性
特点:
·主动辐射率检测和补偿
温度和辐射率读取速率快
·模块化的结构具有高灵活性
·全套I/O和外部触发器/同步组件
技术参数：
公网安备号：沪公网安备 31011702007572号
