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  • Sekidenko OR4000E 高温计
    Sekidenko OR4000E 高温计
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  • Sekidenko OR4000E 高温计


    Advanced Energy ®的 OR4000E多通道光纤测温仪(OFT)能够自动探测测量材料发射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能，并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。

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商品描述


Advanced Energy ®的 OR4000E多通道光纤测温仪(OFT)能够自动探测测量材料发射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能，并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。

优点:


  • 提高可重复性并显著减小误差

  • 提高生产率、产量和生产能力

  • 提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性


特点:

  • ·主动辐射率检测和补偿

  • 温度和辐射率读取速率快

  • ·模块化的结构具有高灵活性

  • ·全套I/O和外部触发器/同步组件


技术参数：

概述:实时，双通道，在测量过程中能实时测量材料发射系数并纠正，补偿测量温度，测量速度高达2kHz
通道配置:1-2通道，透过脉冲发射器实时纠正发射系数，每个通道可单独配置
测温范围:50-3500°C
实时发射系数范围:0.03 至 1.0
测量波长:UV to 2300 nm
读取速率:高达2kHz,在实时发射系数自纠正温度测量模式下可达500Hz
测量精度:±1.5℃
重复精度:±0.1℃℃，正常情况下
分辨率:0.001°C
显示:内置，4x20LCD屏，带键盘输入
数据I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
模拟输出:t0-10V或4-20mA
控制接口:外部触发输入，同步输出，高低报警
电源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:5-40℃，非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:2.0kg
安装:底部M3 X0.75螺孔
采样响应时间:2kHz采样速率时<2ms


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