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  • IMPAC IN 5/9 Plus

    MPAC IN 5/9 Plus 是一款蓝宝石专用数字红外测温仪，采用 8~9.7μm 专属特征光谱，专门适配蓝宝石晶体、蓝宝石晶圆非接触测温，覆盖 0~1500℃全温区间。

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商品描述

MPAC IN 5/9 Plus 是一款蓝宝石专用数字红外测温仪，采用 8~9.7μm 专属特征光谱，专门适配蓝宝石晶体、蓝宝石晶圆非接触测温，覆盖 0~1500℃全温区间。

IMPAC IN 5/9 Plus 是一款蓝宝石专用数字红外测温仪，采用 8~9.7μm 专属特征光谱，专门适配蓝宝石晶体、蓝宝石晶圆非接触测温，覆盖 0~1500℃全温区间。机身小巧圆柱形不锈钢结构，IP65 防尘防水防护等级，支持后盖本地调参 + InfraWin 电脑软件远程设置双模式，模拟、数字双输出通道相互电气隔离，抗高温炉体电磁干扰，适配长晶炉、真空退火炉、晶圆热处理等精密半导体工况，测量线性度高、长期运行稳定可靠。
IN 5/9 Plus 搭载 6 款可选硫化锌定焦光学镜头，搭配 650nm II 类安全激光瞄准灯，微小晶片可快速定位；内置单 / 双峰值存储功能，响应时间多档位自由切换，发射率支持精细 0.01 步进调节，可精准补偿蓝宝石透射、反射带来的测温误差，配套专业 Infra 软件实现实时温度曲线采集、光斑尺寸计算与工艺数据导出。
主要优势：
专属 8~9.7μm 特征红外波段，针对蓝宝石材料光谱优化，大幅消除透光干扰；
六款定焦光学镜头可选，95mm 近距镜头最小光斑仅 1.7mm，适配细小晶圆薄片；
650nm 低功率二级激光瞄准，安装调试快速找准微小测温区域；
0~20mA / 4~20mA 可切换模拟输出，标配 RS232、可选 RS485 总线组网；
供电、模拟、数字三路完全电气隔离，真空炉、长晶炉强磁场环境稳定测量；
发射率调节范围宽，离线 0.2~1.2、软件 0.2~1.0，0.01 高精度步进微调；
t90 基础 180ms，多档曝光时长可调，匹配快慢不同热处理产线节拍；
内置高低温峰值记忆，支持定时 / 外部 / 新工件自动清除记录；
不锈钢一体紧凑型机身，IP65 防护，0~63℃无需冷却长期连续工作；
配套 InfraWin 上位软件，远程修改全部参数，实时绘图、存储工艺数据。
典型应用：
蓝宝石单晶长晶炉测温、蓝宝石晶圆退火热处理、光学蓝宝石基材加热检测
LED 衬底晶片高温监控、真空腔体蓝宝石加工、晶体回火工艺温度采集
各类蓝宝石晶体、薄片、衬底非接触高精度测温场景


测温范围0 ~ 1500℃
特征光谱8 ~ 9.7 μm，硫化锌 ZnS 光学镜头
自定义子量程总量程内自由设置，最小跨度 51℃
分辨率通讯接口 0.1℃；模拟输出＜量程 0.1%
发射率 ε本地离线：0.2~1.2；InfraWin 软件：0.2~1.0，0.01 步进微调
响应时间 t90基础 180ms，软件可调 0.5/1/2/5/10/30s
瞄准系统650nm II 类激光，最大功率＜1mW
光学配置6 款固定镜头：95/112/160/270/400/620mm
95mm 聚焦光斑仅 1.7mm
测量精度 (ε=1，t90=1s)常温 15~30℃：读数 0.6% 或 3℃（取大）
高低温 0~15/30~63℃：读数 1% 或 5℃（取大）
重复性读数 0.3% 或 0.6℃（取大）
等效噪声 NETD350℃工况：180ms=0.5℃，1s=0.2℃
950℃工况：180ms=0.4℃，1s=0.1℃
模拟输出0~20mA / 4~20mA 线性切换，24V 最大负载 500Ω
数字接口标配 RS232，可定制 RS485 半双工
电气隔离电源、模拟、数字通道相互隔离，抗车间电磁干扰
峰值存储单 / 双极值存储，支持定时 / 外部 / 新工件自动清零
供电规格24VDC（18~30V），整机最大 70mA
防护等级IP65（DIN 40050）
机身材质不锈钢一体圆柱形壳体
整机重量约 410g
工作环境温度0 ~ 63℃
存储温度-20 ~ 70℃
使用湿度无凝露工况
CE 认证符合欧盟电磁兼容指令


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