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  • Sekidenko OR400M 外延片测温仪
    Sekidenko OR400M 外延片测温仪
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  • Sekidenko OR400M 外延片测温仪

    Advanced Energy®的 OR400M光学高温计将Sekidenko产品系列的应用范围扩展至3.3um-5.2um的中红外波长范围。OR400M可进行单通温度测量，用于半导体设备的高精密温度测量，用于硅片，腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的独特要求。

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商品描述

Advanced Energy®的 OR400M光学高温计将Sekidenko产品系列的应用范围扩展至3.3um-5.2um的中红外波长范围。OR400M可进行单通温度测量，用于半导体设备的高精密温度测量，用于硅片，腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的独特要求。

优点:

  • 温度范围为50℃C至1300℃

  • 读取速率高达250Hz

  • 单通道配置可选/固定发射率

  • 高速、固态检测器

  • 可配置的过滤器、检测器和光学传输系统

  • RS-232连接模式


应用：

  • 适用于半导体外延，太阳能薄膜和玻璃类工艺


技术参数：

通道配置:带可选/固定发射系数的单通道温度测量
测温范围:50-1300℃
测温波长:3.3 和 5.2 um
读取速率:高达250 Hz
测量精度:±3℃℃
重复精度:±0.1℃℃，正常情况下
分辨率:0.01°C
显示:无，可通过RS232设置
数据I/O:US232,可达115kB
模拟输出:0-10V或4-20mA
电源:交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:18-40℃，非冷凝
物理尺寸:32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D)
重量:0.39kg
安装:框架安装、安装孔安装等


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