18019201696
18917639396
ABOUT US / 关于明策

Sekidenko OR400T 外延片测温仪主要特点

  • 采用光纤镜头或光导管的实时非接触红外测量

  • 完整的I / O和外部触发/同步套件

  • 结构紧凑，易于集成的单通道光纤高温计

  • 提升了低温测试性能

详细说明

传统的热电偶测量会因传热效应而导致温场破坏，进而产生测温误差。OR400T 光纤温度计可在不接触晶圆的情况下直接测量晶圆温度，提高晶圆之间的均匀性并提高温度读数的准确性

OR400T光纤温度计（OFT）提供单通道温度测量功能，支持RS-232和模拟数据接口，每秒高达20个读数。适用于多种大批量半导体生产应用，包括LPCVD，PVD，和金属蚀刻等。

每个OFT系统均由控制器，光学传感器和光纤组成。使用光缆可以使控制器远离RF和其他EMI源进行远程定位。传感器检测目标（通常是基板）辐射的近红外（NIR）光线，然后通过光缆将近红外辐射传输到控制器，控制器将收集到的光转换为温度读数。

典型应用

  • Epi

  • PECVD

  • LPCVD

  • PVD

  • MOCVD

 

技术参数

通用参数

配置

单通道温度测量

温度范围

50 至 3500°C

波长600 至 1600 nm 
读取速率高达 20 Hz
测温精度±1.5°C

控制/重复精度

±0.1°C

分辨率0.01°C
接口
屏幕显示无，可通过RS232设置
数据 I/O高达115 kB的 RS-232 输出
模拟输出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
电参数

输入电压

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

环境参数
使用环境15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D)

2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D)

重量0.73 kg (0.33 lb)
安装M3 X 0.5螺纹孔（有关更多信息，请参阅手册）
电源线电流100 VAC时,小于0.7A

Sekidenko OR400T 外延片测温仪


Company Profile
公司简介

道德观念

爱岗敬业、施展才华、展现价值

经营理念

诚信为本、求实创新、国际化视野

企业宗旨

测温校准测试设备一站式供应商。

企业愿景

致力于帮助用户提升成像产品、温度产品、材料的性能和品质！推动探测领域的发展！

价值准则

诚信　合作　勤奋　创新

Corporate Culture
企业文化

客户理念：

服务客户，让客户得到提高；

服务客户，使客户完全满意；

有了客户的满意度，才有客户的忠诚度；

有了客户的满意和认可，才有我们的长期生存和持续发展

员工理念：

人力资源是我们宝贵的财富

选择合适人才，造就优秀人才

尊重关心每一位员工

分工不同，人人平等

员工具有多大才能公司提供多大舞台，

变"相马为赛马"

没有满意的员工就没有满意的客户