Advanced Energy 的 OR4000 多通道光纤测温仪 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 产品系列开发，为众多温度测量应用提供了业界领先的非接触性温度测量。 OR4000T 向要求最苛刻的温度测量应用提供多通道功能和高达 2 kHz 的读取速率。 OR4000E 还增添了实时辐射率补偿功能。 该仪器采用模块化设计，能够快速调整以满足各个工艺应用的独特要求。
提高温度测量的精度测量
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纤测温仪 (OFT) 以一个紧凑的模块化平台提供精确的非接触式温度和辐射率测量，旨在满足各个独特应用的需求。 AE 的 光纤测温仪 非常适合在控制最严格的应用中测量温度，这类应用需要保证一致且可重复的温度读数以确保工艺成功。
根据应用可选择工艺设备有：
› OR4000T 用于快速热处理 (RTP)、激光退火、高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、原子层沉积 (ALD)、紫外线硬化、太阳能电池封装和硬盘 (HDD) 处理。
› OR4000E 用于外延 (Epi)、化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD)以及衬底发射率发生变化的其他工艺。
增强重复性并尽量减少偏差
传统的热电偶测量方案不适合许多应用领域，由于热传递效应，与基底进行物理接触会造成损害并导致读数不精确。OR4000T 和 OR4000E 在原位测量直接目标的温度，与被测量的物体不接触，可以增强点到点均匀性并提高温度读数的精确度。
每个 OFT 系统都由一个控制器、一个光学传感器和多条光缆组成。 传感器探测目标（一般是衬底）释放出的近红外线(NIR)。 之后光纤将近红外线光从传感器传输到控制器，传感器将采集的光转换成温度读数。 使用光纤可以对控制器进行远程定位，使之处于一个远离工艺腔室的可控环境中。
每个传感器都经过定制设计，以满足每个独特应用的功能和机械要求。结果实现： 可靠测量、更高重复性和更高良品率。