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全面,一文搞懂Sekidenko OR400T 外延片测温仪!
来源: | 作者:上海明策 | 发布时间: 2024-07-03 | 53 次浏览 | 分享到:

Sekidenko OR400T 外延片测温仪主要特点

  • 采用光纤镜头或光导管的实时非接触红外测量

  • 完整的I / O和外部触发/同步套件

  • 结构紧凑,易于集成的单通道光纤高温计

  • 提升了低温测试性能

详细说明

传统的热电偶测量会因传热效应而导致温场破坏,进而产生测温误差。OR400T 光纤温度计可在不接触晶圆的情况下直接测量晶圆温度,提高晶圆之间的均匀性并提高温度读数的准确性

OR400T光纤温度计(OFT)提供单通道温度测量功能,支持RS-232和模拟数据接口,每秒高达20个读数。适用于多种大批量半导体生产应用,包括LPCVD,PVD,和金属蚀刻等。

每个OFT系统均由控制器,光学传感器和光纤组成。使用光缆可以使控制器远离RF和其他EMI源进行远程定位。传感器检测目标(通常是基板)辐射的近红外(NIR)光线,然后通过光缆将近红外辐射传输到控制器,控制器将收集到的光转换为温度读数。

典型应用

  • Epi

  • PECVD

  • LPCVD

  • PVD

  • MOCVD

 

技术参数

通用参数

配置

单通道温度测量

温度范围

50 至 3500°C

波长600 至 1600 nm 
读取速率高达 20 Hz
测温精度±1.5°C

控制/重复精度

±0.1°C

分辨率0.01°C
接口
屏幕显示无,可通过RS232设置
数据 I/O高达115 kB的 RS-232 输出
模拟输出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
电参数

输入电压

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

环境参数
使用环境15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D)

2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D)

重量0.73 kg (0.33 lb)
安装M3 X 0.5螺纹孔(有关更多信息,请参阅手册)
电源线电流100 VAC时,小于0.7A

Sekidenko OR400T 外延片测温仪