众所周知很多半导体设备,例如硅外延机台、碳化硅长晶炉等,温场的控制对于气相沉积、晶体生长有着十分重要的作用。由于其腔室内部温度高、密封要求严格,热电偶等传统测温方式并不适用。红外测温仪其非接触、高精度、高量程等特点在半导体设备上得到广泛使用。
众所周知很多半导体设备,例如硅外延机台、碳化硅长晶炉等,温场的控制对于气相沉积、晶体生长有着十分重要的作用。由于其腔室内部温度高、密封要求严格,热电偶等传统测温方式并不适用。红外测温仪其非接触、高精度、高量程等特点在半导体设备上得到广泛使用。

今天这篇文章主要讲IGAR 12-LO和IGAR 6-TV红外测温仪的优势。
IGAR 6-TV红外测温仪具有直观的视频模式,且接线简单,可记录视频实时图像或视频,多种格式储存。测温量程全覆盖(100~2000℃)高精度,最小可精确到读数的0.4%+2℃,可变焦镜头,可调节测距(可从210至2000mm内测温),同时可以设定内可调多种参数,使用多种环境需求。
IGAR 12-LO属于双色光纤红外测温仪,测温范围全覆盖(300~2500℃)。光纤探头耐温高达250℃,高精度,最小可精确读数到0.5%+1℃,响应时间短。双色/单色、0/4-20mA、RS232/RS485均可切换。
IMPAC红外测温仪是基于红外辐射原理的温度测量设备,impac红外测温仪是基于几十年的红外测温仪研发,生产。明策作为impac红外测温仪这个品牌的一级代理,我们可以提供专业的解决方案。