NEWS / 新闻中心
半导体测温仪,impac IGA 6和IGAR 6优势在哪里
来源:原创 | 作者:上海明策 | 发布时间: 2022-07-07 | 768 次浏览 | 分享到:

半导体行业目前是不断发展的一个行业,这边文章主要介绍impac IGA 6和IGAR 6半导体晶体生长测温、半导体氧化扩散测温、半导体薄膜沉积测温场景下应用的优势。

半导体晶体生长测温要解决的问题

  • 还原炉应用中,需多点位测温,有的点位位置较高对准目标比较困难。

  • 需透视窗测量反应物。建议使用近红外短波测温。

  • 直拉法应用中,一般集成于内部温控系统,安装空间有限。建议使用分体光纤式设备。

  • 升温过程中,材料状态可能发生变化,导致发射率随之发生变化导致测温失准。建议使用双色测温仪

半导体氧化扩散测温要解决的问题

  • 测温设备集成于设备内部,对准目标有些许困难

  • 需透视窗测温,需考虑测温仪响应波段

半导体薄膜沉积测温要解决的问题

  • 被测物可能被离子云包裹

  • 多次加热工况中,对测温仪重复性与稳定性要求高

  • 衬底材料会发生变化,要求测温仪有不同的应对方案

  • 须透过视窗测量,最好推荐使用红外视窗材料

impac IGA 6IGAR 6优势

  • 为近红外测温波段,对于石英视窗有更高的透射率;对于金属被测物有更高的测温精度

  • 宽测温量程(250-2500℃)

  • 极快响应速度(120μs)

  • 更好的重复性(0.15%+1℃)

  • 可变焦镜头,可调节测距(可从210至2000mm内测温)

  • 设定内可调多种参数,满足多种环境需求

  • 具有直观的视频模式,且接线简单