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谈一谈IMPAC红外测温仪在微波等离子体CVD的应用
来源: | 作者:上海明策 | 发布时间: 2020-11-10 | 1115 次浏览 | 分享到:

微波等离子体 CVD Microwave PCVD, MPCVD)将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器,并通入 CH4 H2的混合气体,在微波的激励下,在反应室内产生辉光放电,使反应气体的分子离化,产生等离子体,在衬底上沉积得到金刚石膜。由于被测物被等离子云包裹,在多次加热的工况中,每次测量的数据重复性和稳定性必须极高,如果每次测量差异过大,测量数据将毫无意义;衬底材料的变化,同质外延,异质外延;视窗材料的选择这些都加大了测温的难度。


双色测温仪能够消除水汽、灰尘、检测目标大小变化、部分被遮挡、发射率变化等的影响,双色测温仪测量绝大数灰体材料时不需要修正双色系数,双色测温仪测量一个区域内最高温度的平均值。双色红外测温仪可以克服严重水汽、灰尘、检测目标大小变化、部分被遮挡、发射率变化等的影响,即使检测信号衰减95%,也不会对测温结果有任何影响

IGAR 6系列红外测温仪,可以宽温度范围可以适应更灵活的工作方式,极高的准确性和重复性;“视窗污染”警报;2ms的高速动态过程响应时间;同类中较好的光学手动聚焦功能

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