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半导体薄膜沉积要解决的问题【带视频瞄准的红外测温仪】
来源:明策科技 | 作者:上海明策 | 发布时间: 2022-06-28 | 344 次浏览 | 分享到:

要解决的问题

  • 被测物可能被离子云包裹

  • 多次加热工况中，对测温仪重复性与稳定性要求高

  • 衬底材料会发生变化，要求测温仪有不同的应对方案

  • 须透过视窗测量，推荐使用红外视窗材料

场景特点

  • 需维持在高温状态（LPCVD 500~800℃，MOCVD 500~1200℃）

  • 生产过程中随着反应状态的变化，温度也需进行调整，故而对测温仪的响应速度要求较高

    匹配产品

  • 我司提供产品作为解决方案：IGA 6-TV、IGAR 6-TV

    技术指标




    型号
    指标类型
    IGA 6-TV
    IGAR 6-TV
    测温范围
    250...2500℃
    100...2000℃
    测量波段
    1.45...1.8μm
    波段1: 1.5...1.6μm;波段2: 2.0...2.5μm
    分辨率
    数字接口：0.1℃
    模拟输出<温度范围的0.0015%
    数字接口：0.1℃
    模拟输出<温度范围的0.0015%
    响应时间
    120μs
    2ms
    测量精度
    读数的0.3%±2℃（<1500℃）
    读数的0.6%（>1500℃）
    测量值的0.4%±2℃（<1500℃）
    测量值的0.8%       （>1500℃）
    重复性
    读数的0.15%+1℃
    测量值的0.2%+1℃
    瞄准方式
    视频瞄准，彩色图像。带有瞄准指示光圈
    视频瞄准，彩色图像。带有瞄准指示光圈
    环境温度
    外壳上0-70℃
    外壳0-65℃
    测量模式
    单色
    双色/单色/金属模式，可切换
    防护等级
    IP65
    IP65