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在半导体晶体生长应用场景中能解决什么问题?
来源:明策科技 | 作者:上海明策 | 发布时间: 2022-06-16 | 346 次浏览 | 分享到:

在半导体晶体生长应用场景中能解决什么问题?在这个行业应用中其场景有什么特点?今天明策科技的小编就带大家来研究一下。

1.1要解决的问题

  • 还原炉应用中,需多点位测温,有的点位位置较高对准目标比较困难。

  • 需透视窗测量反应物。建议使用近红外短波测温。

  • 直拉法应用中,一般集成于内部温控系统,安装空间有限。建议使用分体光纤式设备。

  • 升温过程中,材料状态可能发生变化,导致发射率随之发生变化导致测温失准。建议使用双色测温仪

1.2场景特点

  • 反应温度需维持在高温状态(还原炉约1080℃、直拉法约为1500℃)

  • 可能有较强的电磁干扰,需要使用分体式光纤设备

  • 熔融石英坩埚内部反应

  • 腔室内填充保护性气体

1.3场景照片


还原炉


直拉法单晶炉